연구업적
연구수탁 (최근 3년간의 실적)
| 년도 | 제목 |
|---|---|
| 2025-04-15 | 2025년 반도체특성화대학사업 지원(교육과정운영비) |
| 2025-03-01 | [RCMS][4-3]반도체특성화대학지원사업 |
| 2025-03-01 | [RCMS][1단계2-2]차세대반도체소재부품장비후공정 전문인력양성(5-2) |
지적재산권 (최근 3년간의 실적)
| 년도 | 제목 |
|---|---|
| 2025-02-04 | PEALD와 INHIBITOR를 활용한 DRAM 캐패시터용 고유전율 절연체 증착 방법 |
| 2024-12-19 | 단일 도메인으로 구현되는 대면적 반도체 소자 및 이를 제조하는 방법 |
| 2024-12-18 | PEALD와 inhibitor를 활용한 DRAM 커패시터용 고유전율 절연체 증착 방법 |